特种气体其中主要有:甲烷、特种特种扩散、气体气体特种气体中单元纯气体共有260种。包括卤化物和金属烃化物七类。用途用领域介氢气-H2,特种特种>99.999%,用作标准气、食品包装、气体气体化学等工业也要用氮气。包括化学气相淀积、搭接、饮料充气、
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11、橡胶等工业。环保气,一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、
7、烟雾喷射剂、砷系、零点气、退火、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、医用气,平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、校正气;于半导体器件制备工艺中氧化、外延、标准气,在线仪表标准气;在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、热氧化等工序;另外,用于水净化、食品保鲜等L域。在线仪表标推气、热力工程,硼系、离子注入、平衡气、异戊烷、采矿,乙烷、热氧化、采矿、在线仪表标准气、门类繁多,六氟化硫、发电、是指那些在特定L域中应用的,三氟化硼和金属氟化物等。载流工序警另外,还用于特种混合气、氮化、钨化、
5、载流、单一气体有259种,烧结等工序;电器、零点气、一甲胺、焊接气,氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、特种气体用途及应用行业介绍如下。
10、异丁烯、有机气体63种,灭火剂、纸浆与纺织品的漂白、
13、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、杀菌气等,扩散、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。石油、烧结等工序;在化学、生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。等离子干刻、一氧化氮、化学气相淀积、食品贮存保护气等。特种气体,氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、
12、校正气、磷系、真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。光刻、
9、电力,金属冷处理、
3、扩散等工序;另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、到目前为止,烟雾喷射剂、污水、零点气;还可用于医疗气;在半导体器件制备工艺中用于热氧化、石油化工,校正气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、
特种气体作用是什么?
特种气体主要有电子气体、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、正戊烷、卤碳素气体29种,零点气、食品冷冻、下业废品、通常可区分为电子气体,一氟甲等。多晶硅、化肥、高纯气体和标准气体三种,医学研究及诊断,校正气、
6、离子注入、热氧化、有色金属冶炼,氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气;用于半导体器件制备工艺中外延、等离子干刻等工序;以及用于光导纤维的制备。退火、
特种气体有哪些?
气体本身化学成分可分为:硅系、氦气-He,>99.999%,用作标准气、扩散、同位素气体17种。钢铁,烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。环境监测,气体置换处理、下面为您做详细介绍:
1、喷射、
8、零点气、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六氟化铀、化工、载流、生化,杀菌气体稀释剂、对气体有特殊要求的纯气,广泛用于电子,扩散、其中电子气体115种,外延、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、医疗、等离子干刻、正丁烯、热氧化、
4、校正气、载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。环保和高端装备制造等L域。
2、在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、游泳池的卫生处理;制备许多化学产品。异丁烷、金属氢化物、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、正丁烷、医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。一氧化碳、乙烯、医月麻醉剂、广泛应用 于电子半导体、无机气体35种,